日本musashino高真空2軸旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)電機(jī)驅(qū)動(dòng) ICF114 特點(diǎn)介紹

采用鋁合金制成，重量輕。

鋁制法蘭型根據(jù) ICF 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行鏡面拋光和離子鍍處理。

內(nèi)軸和外軸可獨(dú)立旋轉(zhuǎn)。

規(guī)格與超高真空兼容。

可由電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

配有夾緊機(jī)構(gòu)。

■ Aluminum alloy composition, lightweight design.

■ Ion plating process is applied to mirror finished aluminum flangeaccording to the ICF standard

■ Inner and outer shafts can rotate independently.

采用鋁合金制成，重量輕。

鋁制法蘭型根據(jù) ICF 標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行鏡面拋光和離子鍍處理。

內(nèi)軸和外軸可獨(dú)立旋轉(zhuǎn)。

規(guī)格與超高真空兼容。

可由電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

配有夾緊機(jī)構(gòu)。

日本musashino高真空2軸旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)電機(jī)驅(qū)動(dòng) ICF114 規(guī)格參數(shù)

真空連接法蘭密封方式真空密封型泄漏量Le Akage速率允許加熱溫度最大溫度ICF114波紋管方式波紋管type1.3 10-11Pa·m3/sec或更少（1x 10-10Torr·R/sec or less）內(nèi)軸外軸內(nèi)軸外軸120°C或更?。ˋR法蘭）250°C或更小（SUS法蘭）φ5mmφ20mm2.1。