日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導率 WATMASS MPH 100M 特點介紹

■低輻射/高導熱率0.2%BeCu合金離子源法蘭，減少燈絲熱量的影響，實現(xiàn)超低氣體排放RGA，可在10 -10Pa范圍內進行氣體分析

■Ptlr合金柵+強電子轟擊脫氣通過這種機制，與傳統(tǒng)產品相比，氫氣和ESD的偽峰值降低到1/1000以下。

■所有組件均在電爐中拆卸和脫氣。

日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導率 WATMASS MPH 100M 規(guī)格參數(shù)

當使用閥門關閉并且不使用排氣泵時， WATMASS 可以保持 10 -7 Pa的真空長達一年。這意味著即使燈絲打開，從傳感器釋放的氣體也小于質量分析中因電離（泵送作用）而損失的氣體量。通過大幅降低氣體排放，我們實現(xiàn)了迄今為止不可想象的新氣體分析應用。

　通過將 WATMASS 與由 0.2%BeCu 合金（一種具有低輻射和高熱導率的低氣體排放材料）制成的測量系統(tǒng)相結合，可以通過簡單的樣品加熱機制進行各種新的氣體分析。換句話說，由于腔室和 RGA 不吸收從加熱機構發(fā)出的紅外輻射，因此不存在熱擾動，并且可以進行真實的氣體分析。另外，通過在排氣泵和腔室之間連接金屬閥門，并在腔室排氣后關閉閥門以將其密封，可以進行超痕量氣體分析。