日本日酸TANAKA二次高壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-H-4W-B550-4VF4VF 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規(guī)格品（。接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25微米）

●TORR-H系列是可進行二次側高壓控制的機型。（最大15MPa）

日本日酸TANAKA二次高壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-H-4W-B550-4VF4VF 規(guī)格參數(shù)

●使用材質（TORR-H）接觸氣體部主體:活塞:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄用例:SUS316LSUS316Lsus316SUS318、氟樹脂、氟橡膠C3604S45C

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:20M Pa15MPa800L/min（或）P1=13MPa、P2=12MPa、N2氣體）-5～40°C2.0kg2μm1/4"1.3 10-7Pa m3/sec以下