日本日酸TANAKA高純度低壓閥壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 STⅤ50-3WE-30X03G-6UB6UB-T 特點介紹

S-TORR調(diào)整器在半導(dǎo)體散熱氣體生產(chǎn)線中獲得極大信賴的TORR調(diào)整器

是貝一斯開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

通過排除接觸氣體部螺紋結(jié)構(gòu)，按標(biāo)準(zhǔn)實施電解研磨，可獲得非常高的水分

可實現(xiàn)置換特性、降低電池。

主體與框架的連接采用焊接，隔膜部的外部密封件采用金屬密封件結(jié)構(gòu)。

由于具有較高的外部密封性，即使是純度較高的氣體，也可以放心使用。

在一次室的流路內(nèi)置過濾器1，減少了內(nèi)部回流的發(fā)生。

包括直線測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。

由于STV50串聯(lián)1作為一次低壓用中流量機(jī)種，STV30也需要流量

低壓配管、出口彈簧、液化氣體氣缸一箱體等寬敞的箱體

正在使用。

作為腐蝕性氣體用，在接觸氣體主要金屬部使用了高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH硅

我們準(zhǔn)備了禮品。

日本日酸TANAKA高純度低壓閥壓力調(diào)節(jié)器 TANAKA日酸 STⅤ50-3WE-30X03G-6UB6UB-T 規(guī)格參數(shù)

使用材質(zhì)

接力部

本體:SUS316L

隔膜:SUS316L/NI-Cr-Mo合金（STV50SH）

過濾器一:SUS316L/Ni-Cr-Mo合金（STV 50SH）

莊力計:SUS316L

繼手:SUS316L

其它接觸氣體部:SUS316L、SUS316、氟樹脂/NI-Cr-Mo合金、

SUS316L、氟樹脂（STV50SH）

非接觸氣體部

蓋:C3604

調(diào)壓手柄:ABS樹脂、C3604