日本進(jìn)口YUTAKA高壓標(biāo)準(zhǔn)U20系列壓力控制器 U20SS/U20SH/U20SV 特點(diǎn)介紹

超高純度半導(dǎo)體制造工藝用精密壓力調(diào)節(jié)器

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量～60NL/分鐘

日本進(jìn)口YUTAKA高壓標(biāo)準(zhǔn)U20系列壓力控制器 U20SS/U20SH/U20SV 規(guī)格參數(shù)

入口壓力 14.8MPa以下 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa（范圍規(guī)格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00086MPa 

承受壓力 一次側(cè)22.2MPa 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 約1.4公斤 

類(lèi)型U20SSU20SHU20SVU20VH

氣體接觸部分 

主體SUS316L SUS316L

真空雙熔材料 

隔膜哈氏合金®C-22 

閥座PCTFE（Daiflon®） 

調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金®

C-22 

壓力表連接密封墊片你 

非氣體接觸部分 

調(diào)節(jié)器蓋SUS304 

調(diào)節(jié)器蓋ABS樹(shù)脂 

它用于多種氣體，包括半導(dǎo)體工廠設(shè)施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設(shè)備制造商的集成單元。
該產(chǎn)品具有優(yōu)良的氣密性，非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性輸送。