日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特點(diǎn)介紹

L20系列是專(zhuān)為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。

此外，我們還提供多種選擇來(lái)容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 規(guī)格參數(shù)

入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa） 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa 

承受壓力 22.2MPa（進(jìn)口側(cè)） 

CV值 0.09 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內(nèi)部容積 4.67cm（不含3個(gè)壓力表及接頭） 

大量的 約1.29公斤 

主體SUS316L 

調(diào)節(jié)閥桿/閥座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L 

閥座PCTFE（Daiflon®） 

緩沖彈簧不銹鋼316 哈氏合金® 不銹鋼316 

壓力表連接密封墊片你 不銹鋼316 

非氣體接觸部分 

閥蓋 (A)不銹鋼316 

發(fā)動(dòng)機(jī)罩 (B)黃銅（鍍鎳） 

帽SUS304